MSE-4400
氦氣測漏儀(Helium Leak Detector)
電子封裝類專用氦氣測漏儀
功能說明
| Sensitivity | 10-13～100Pa・m3/s［He］ |
| Leak rate for judgment | 2.5×10-10Pa・m3/s［He］ |
| Tact time | 6 seconds order ( Vented with dry nitrogen) |
| Analyzer tube | 270̊ magnetic deflecting type (Flux density : 0.17T) |
| Yttria-coated iridium filament (2 pcs.) | |
| Automatic sensitivity calibration with temperature compensation | |
| Vacuum System | Molecular drag pump specially designed for leak detector (Structure of exhaust 70L/s) |
| Oil-sealed rotary vacuum pump | |
| (fore vacuum pump) (30L/min 50Hz) | |
| Oil-sealed rotary vacuum pump | |
| (roughing vacuum pump) (1080L/min 50Hz) | |
| Pirani gage : Provided in two lines | |
| Test Chamber | 300cc (D80×H60) Test work container equipped |
| Weight | Main unit : approx. 260kg |
| Power Requirements | 200VAC±10%, three phases, 50/60Hz, 3.0kVA |
| Input/output | |
| RS-232C interface | |
| Printer interface |
| 靈敏度 | 10-13～100Pa・m3/s［氦］ |
| 洩漏率判斷 | 2.5×10-10Pa・m3/s［He］ |
| 測試時間 | 6秒等級（用乾燥氮氣通風） |
| 分析管 | 270̊磁偏轉型（磁通密度：0.17T） |
| 氧化釔包覆的銥絲（2個） | |
| 具溫度補償功能的自動靈敏度校準 | |
| 真空系統 | 專門為檢漏儀設計的分子渦輪泵（排氣結構70L / s） |
| 專為檢漏儀設計的油式旋轉真空泵(前級真空幫浦)（排氣速度 30L / min 50Hz） | |
| 專為檢漏儀設計的油式旋轉真空泵(粗抽幫浦)（排氣速度 1080 L / min 50Hz） | |
| 皮拉尼真空計：量測兩處真空值 | |
| 測試腔體 | 配備300cc（D80×H60）測試容器 |
| 重量 | 主機：約 260kg |
| 電源要求 | 200VAC±10%, 三相, 50/60Hz, 3.0kVA |
| 輸出/輸入 | RS-232C接口 |
| 印表機序列阜 |
