TMP (Turbo Molecular Pump)
島津磁懸浮軸承渦輪分子泵採用五軸控制磁性軸承系統,無需使用油潤滑,在運轉過程當中,無任何摩擦,是真正做到完全無油、免維護、全方位安裝的渦輪分子泵。
廣域型 渦輪分子式幫浦【03 Series】
Wide-Range TURBO MOLECULAR PUMP【03 Series】
大流量型 渦輪分子式幫浦【03 Series】
HIGH PUMPING THROUGHPUT TMP TURBO MOLECULAR PUMP【03 SERIES】
大流量型 渦輪分子式幫浦【04 Series】
High pumping Throughput TURBO MOLECULAR PUMP【04 Series】