VHS

真空脫脂燒結爐

可連續處理脫氣・脫脂・燒結
爐內設有密封箱,脫脂時,黏結劑不會黏附汙染爐壁和斷熱層,會排出爐外。

多種處理方式之實績
為可對應各式各樣處理之真空爐。
可對應從低溫熱處理到陶瓷等的燒成高溫處理等熱處理。
功能說明
超硬合金
脫脂、脫氣、燒結處理及急速冷卻之連續處理。

非氧化物系陶磁
脫脂、脫氣、燒成處理及急速冷卻之連續處理。
用途例:氮化鋁基板 (VHSgr30/30/180)

各種金屬
脫脂、脫氣、燒結處理及急速冷卻之連續處理。

石墨
脫氣、純化之連續處理
規格說明
型號 爐內有效尺寸 最高溫度 處理量 到達壓力 最高壓力 設備電力 使用氣體
Model W×H×L (mm) (℃) (kg) (Pa)   (kVA)  
VHSgr20/20/50 200×200×500 1600 <2400> 50 7×10-1
(7×10-3 )
大氣壓 70 N2,Ar,(H2)
VHSgr30/30/60 300×300×600 100 90
VHSgr40/40/100 400×400×1000 250 140
VHSgr50/50/120 500×500×1200 400 170