TMP-V2304LM

電源一體型渦輪分子式幫浦

TURBO MOLECULAR PUMP		TMP-2304LM
Inlet flange		VG250/ISO 250B
Outlet flange		KF40
Cooling method		Water cooled
Ultimate pressure(after baking)Pa (Torr) (Note2)		10^-7 Pa order
Maximum inlet pressure (Note1)		4.5 Pa
Maximum outlet pressure (Note1)		200 Pa
Pumping rate (Note 2)	N₂	2100 L/s
	Ar	2000 L/s
Startup time		9 minutes max.
Mounting orientation		Any orientation
Vibration level (Note3)		0.01μm max.(half amplitude)
Recommended auxiliary pumping rate		1500 L/minute min.
Permitted magnetic flux density	Radial	3 mT
	Axial	15mT
Cooling water	Flow rate	3 to 4 L/min
	Pressure	0.2 to 0.4 Mpa
	Temperature	19 to 30 ℃, no cindensation
Cooling water valve		Dew condensation interlock
Rotational speed		Variable between 25% and 100% pump rated speed
External communications	Contact I/O	REMOTE (Dsub 37-pin)
	Serial communications	RS-232C/ RS-485
Error log		Stores last 99 errors with description and time/date stamp.
Power Supply	Voltage	200 V AC to 240 V AC ±10%, single-phase (50/60 Hz±2 Hz)
	Max. supply capacity	1.2 Kva
Weight		55kg

Consult your Shimadzu representative for maximum permitted flow rates during continuous operation.

(Nott1)Value for short-term operation

(Note2)Value when no protective net is installed on the inlet flange

(Note3)Using Shimadzu measurement methods

(Note4)SCCM： Volumetric flow rate at 0℃, 1atm(equivalent to mL/minute)

型號		TMP-2304LM
進氣法蘭		VG250/ISO 250B
出口法蘭		KF40
冷卻方式		水冷式
極限壓力(after baking)Pa (Torr) (Note2)		10^-7 Pa order
最大入口壓力 (Note1)		4.5 Pa
最大出口壓力 (Note1)		200 Pa
抽速 (Note 2)	N₂	2100 L/s
	Ar	2000 L/s
啟動時間		9 分鐘.
安裝方向		任意方向
振動等級 (Note3)		0.01μm max.(半振幅)
建議輔助抽速		1500 L/minute min.
允許磁通密度	徑向	3 mT
	軸向	15mT
冷卻水	流量	3 to 4 L/min
	壓力	0.2 to 0.4 Mpa
	溫度	19 to 30 ℃, 無凝結
冷卻水閥		Dew condensation interlock
轉速		在25％和100％的泵額定轉速之間變化
對外通訊	Contact I/O	REMOTE (Dsub 37-pin)
	Serial communications	RS-232C/ RS-485
錯誤記錄		存儲最近的99個錯誤以及說明和時間/日期。
電源供應	電壓	200 V AC to 240 V AC ±10%, 單相 (50/60 Hz±2 Hz)
	最高供應能力	1.2 Kva
重量		55kg

請諮詢您的島津業務窗口以獲取連續運行期間的最大允許流量。

(Note1)短期間數值。

(Note2)進氣法蘭上未安裝保護網時的數值。

(Note3)使用島津測量方法。

(Note4)SCCM：0℃，1atm（相當於mL /分鐘）時的體積流量。