MSE-3400/MSE-3410

氦氣測漏儀(Helium Leak Detector)

使用氦氣測漏儀專用的Pump和高性能分析管,具備高感度及低背景值,而有"優越的BG回復功能"

大螢幕液晶觸控式螢幕面板,操作簡單。
規格說明

■Specifications MSE-3400

Sensitivity 10-13~100Pa・m3/s[He]
Analyzer tube 270̊ magnetic deflecting type (Flux density: 0.17T)
Yttria-coated iridium filament (2 pcs.)
Automatic sensitivity calibration with temperature compensation
Vacuum System Molecular drag pump specially designed for leak detector (Structure of exhaust 70L/s)
Oil-sealed rotary vacuum pump (fore vacuum pump) (30L/min 50Hz)
Oil-sealed rotary vacuum pump (roughing vacuum pump) (300L/min 50Hz)
Pirani gage : Provided in two lines
Test Port Maximum pressure 1000Pa
Connection port : NW25KF
Weight Main unit : approx. 170kg
Power Requirements 200VAC±10%, three phases, 50/60Hz, 1.5kVA
Input/output RS-232C interface
Printer interface
靈敏度 10-13~100Pa・m3/s[氦]
檢測氣體 氫氣/氦氣
分析管 270̊磁偏轉型(磁通密度:0.17T)
  氧化釔包覆的銥絲(2個)
  具溫度補償功能的自動靈敏度校準
真空系統 專門為檢漏儀設計的分子渦輪泵(排氣結構70L / s)
  專為檢漏儀設計的油式旋轉真空泵(排氣速度 30L / min 50Hz)
  皮拉尼真空計:量測兩處真空值
測試口 最大壓力1000Pa
  連接端口:NW25KF
  氦氣抽速3L / s
重量 主機:約 170kg
電源要求 200VAC±10%, 三相, 50/60Hz, 1.5kVA
Input/output RS-232C接口
  印表機序列阜

■Specifications MSE-3410

Sensitivity 10-13~100Pa・m3/s[He]
Analyzer tube 270̊ magnetic deflecting type (Flux density: 0.17T)
Yttria-coated iridium filament (2 pcs.)
Automatic sensitivity calibration with
temperature compensation
Vacuum System Molecular drag pump specially designed for leak detector (Structure of exhaust 70L/s)
Oil-sealed rotary vacuum pump (fore vacuum pump) (30L/min 50Hz)
Oil-sealed rotary vacuum pump (roughing vacuum pump) (1080L/min 50Hz)
Pirani gage : Provided in two lines
Test Port Maximum pressure 1000Pa
Connection port : NW25KF
Weight Main unit : approx. 260kg, 3.0kVA
Power Requirements 200VAC±10%, three phases, 50/60Hz
Input/output RS-232C interface
Printer interface
靈敏度 10-13~100Pa・m3/s[He]
檢測氣體 氫氣/氦氣
分析管 270̊磁偏轉型(磁通密度:0.17T)
  氧化釔包覆的銥絲(2個)
  具溫度補償功能的自動靈敏度校準
真空系統 專門為檢漏儀設計的分子渦輪泵(排氣結構70L / s)
  專為檢漏儀設計的油式旋轉真空泵(前級真空幫浦)(排氣速度 30L / min 50Hz)
  專為檢漏儀設計的油式旋轉真空泵(粗抽幫浦)(排氣速度 1080 L / min 50Hz)
  皮拉尼真空計:量測兩處真空值
測試口 最大壓力1000Pa
  連接端口:NW25KF
重量 主機:約 260kg
電源要求 200VAC±10%, 三相, 50/60Hz, 3.0kVA
輸出/輸入 RS-232C接口
印表機序列阜
其它說明1
應用領域:
半導體和平板顯示器製造
LED製造
鍍膜設備
製冷設備和空調的元件及零件
低溫壓力容器
閥門氣密性