MSE-3400/MSE-3410
氦氣測漏儀(Helium Leak Detector)
使用氦氣測漏儀專用的Pump和高性能分析管,具備高感度及低背景值,而有"優越的BG回復功能"
大螢幕液晶觸控式螢幕面板,操作簡單。
大螢幕液晶觸控式螢幕面板,操作簡單。
規格說明
■Specifications MSE-3400
Sensitivity | 10-13~100Pa・m3/s[He] |
---|---|
Analyzer tube | 270̊ magnetic deflecting type (Flux density: 0.17T) Yttria-coated iridium filament (2 pcs.) Automatic sensitivity calibration with temperature compensation |
Vacuum System | Molecular drag pump specially designed for leak detector (Structure of exhaust 70L/s) Oil-sealed rotary vacuum pump (fore vacuum pump) (30L/min 50Hz) Oil-sealed rotary vacuum pump (roughing vacuum pump) (300L/min 50Hz) Pirani gage : Provided in two lines |
Test Port | Maximum pressure 1000Pa Connection port : NW25KF |
Weight | Main unit : approx. 170kg |
Power Requirements | 200VAC±10%, three phases, 50/60Hz, 1.5kVA |
Input/output | RS-232C interface Printer interface |
靈敏度 | 10-13~100Pa・m3/s[氦] |
檢測氣體 | 氫氣/氦氣 |
分析管 | 270̊磁偏轉型(磁通密度:0.17T) |
氧化釔包覆的銥絲(2個) | |
具溫度補償功能的自動靈敏度校準 | |
真空系統 | 專門為檢漏儀設計的分子渦輪泵(排氣結構70L / s) |
專為檢漏儀設計的油式旋轉真空泵(排氣速度 30L / min 50Hz) | |
皮拉尼真空計:量測兩處真空值 | |
測試口 | 最大壓力1000Pa |
連接端口:NW25KF | |
氦氣抽速3L / s | |
重量 | 主機:約 170kg |
電源要求 | 200VAC±10%, 三相, 50/60Hz, 1.5kVA |
Input/output | RS-232C接口 |
印表機序列阜 |
■Specifications MSE-3410
Sensitivity | 10-13~100Pa・m3/s[He] |
---|---|
Analyzer tube | 270̊ magnetic deflecting type (Flux density: 0.17T) Yttria-coated iridium filament (2 pcs.) Automatic sensitivity calibration with temperature compensation |
Vacuum System | Molecular drag pump specially designed for leak detector (Structure of exhaust 70L/s) Oil-sealed rotary vacuum pump (fore vacuum pump) (30L/min 50Hz) Oil-sealed rotary vacuum pump (roughing vacuum pump) (1080L/min 50Hz) Pirani gage : Provided in two lines |
Test Port | Maximum pressure 1000Pa Connection port : NW25KF |
Weight | Main unit : approx. 260kg, 3.0kVA |
Power Requirements | 200VAC±10%, three phases, 50/60Hz |
Input/output | RS-232C interface Printer interface |
靈敏度 | 10-13~100Pa・m3/s[He] |
檢測氣體 | 氫氣/氦氣 |
分析管 | 270̊磁偏轉型(磁通密度:0.17T) |
氧化釔包覆的銥絲(2個) | |
具溫度補償功能的自動靈敏度校準 | |
真空系統 | 專門為檢漏儀設計的分子渦輪泵(排氣結構70L / s) |
專為檢漏儀設計的油式旋轉真空泵(前級真空幫浦)(排氣速度 30L / min 50Hz) | |
專為檢漏儀設計的油式旋轉真空泵(粗抽幫浦)(排氣速度 1080 L / min 50Hz) | |
皮拉尼真空計:量測兩處真空值 | |
測試口 | 最大壓力1000Pa |
連接端口:NW25KF | |
重量 | 主機:約 260kg |
電源要求 | 200VAC±10%, 三相, 50/60Hz, 3.0kVA |
輸出/輸入 | RS-232C接口 |
印表機序列阜 |
其它說明1
應用領域:
半導體和平板顯示器製造
LED製造
鍍膜設備
製冷設備和空調的元件及零件
低溫壓力容器
閥門氣密性
半導體和平板顯示器製造
LED製造
鍍膜設備
製冷設備和空調的元件及零件
低溫壓力容器
閥門氣密性