大流量型 渦輪分子式幫浦【04 Series】
High pumping Throughput TURBO MOLECULAR PUMP【04 Series】
規格說明
TMP-2804LM | TMP-3804LMC | TMP-4304LMC |
TMP-2804LM | TMP-3804LMC | TMP-4304LMC |
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(Note1) 可選配配備有轉子過熱檢測功能的型號。(TMP-xxxS model) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
(Note2) 在入口法蘭上使用O形圈墊圈時。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
(Note3) mL / min表示在0℃和1個大氣壓下的體積流量。(等效於SCCM。) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
(Note4) 不使用防護網時。 如果使用防護網,則排放速度(N2)如下: TMP-2804(VG250):2250 L / s:TMP-2804(ISO 250B):2300 L / s; TMP-3304:2900 L / s; TMP-3804(VG300):3450 L / s; TMP-3804( ISO320B):3600 L / s; TMP-4304:4000 L / s |