MSE-3400/MSE-3410
氦氣測漏儀(Helium Leak Detector)
使用氦氣測漏儀專用的Pump和高性能分析管，具備高感度及低背景值，而有"優越的BG回復功能"
大螢幕液晶觸控式螢幕面板，操作簡單。
大螢幕液晶觸控式螢幕面板，操作簡單。
規格說明
■Specifications MSE-3400
| Sensitivity | 10-13～100Pa・m3/s［He］ |
|---|---|
| Analyzer tube | 270̊ magnetic deflecting type (Flux density: 0.17T) Yttria-coated iridium filament (2 pcs.) Automatic sensitivity calibration with temperature compensation |
| Vacuum System | Molecular drag pump specially designed for leak detector (Structure of exhaust 70L/s) Oil-sealed rotary vacuum pump (fore vacuum pump) (30L/min 50Hz) Oil-sealed rotary vacuum pump (roughing vacuum pump) (300L/min 50Hz) Pirani gage : Provided in two lines |
| Test Port | Maximum pressure 1000Pa Connection port : NW25KF |
| Weight | Main unit : approx. 170kg |
| Power Requirements | 200VAC±10%, three phases, 50/60Hz, 1.5kVA |
| Input/output | RS-232C interface Printer interface |
| 靈敏度 | 10-13～100Pa・m3/s［氦］ |
| 檢測氣體 | 氫氣/氦氣 |
| 分析管 | 270̊磁偏轉型（磁通密度：0.17T） |
| 氧化釔包覆的銥絲（2個） | |
| 具溫度補償功能的自動靈敏度校準 | |
| 真空系統 | 專門為檢漏儀設計的分子渦輪泵（排氣結構70L / s） |
| 專為檢漏儀設計的油式旋轉真空泵（排氣速度 30L / min 50Hz） | |
| 皮拉尼真空計：量測兩處真空值 | |
| 測試口 | 最大壓力1000Pa |
| 連接端口：NW25KF | |
| 氦氣抽速3L / s | |
| 重量 | 主機：約 170kg |
| 電源要求 | 200VAC±10%, 三相, 50/60Hz, 1.5kVA |
| Input/output | RS-232C接口 |
| 印表機序列阜 |
■Specifications MSE-3410
| Sensitivity | 10-13～100Pa・m3/s［He］ |
|---|---|
| Analyzer tube | 270̊ magnetic deflecting type (Flux density: 0.17T) Yttria-coated iridium filament (2 pcs.) Automatic sensitivity calibration with temperature compensation |
| Vacuum System | Molecular drag pump specially designed for leak detector (Structure of exhaust 70L/s) Oil-sealed rotary vacuum pump (fore vacuum pump) (30L/min 50Hz) Oil-sealed rotary vacuum pump (roughing vacuum pump) (1080L/min 50Hz) Pirani gage : Provided in two lines |
| Test Port | Maximum pressure 1000Pa Connection port : NW25KF |
| Weight | Main unit : approx. 260kg, 3.0kVA |
| Power Requirements | 200VAC±10%, three phases, 50/60Hz |
| Input/output | RS-232C interface Printer interface |
| 靈敏度 | 10-13～100Pa・m3/s［He］ |
| 檢測氣體 | 氫氣/氦氣 |
| 分析管 | 270̊磁偏轉型（磁通密度：0.17T） |
| 氧化釔包覆的銥絲（2個） | |
| 具溫度補償功能的自動靈敏度校準 | |
| 真空系統 | 專門為檢漏儀設計的分子渦輪泵（排氣結構70L / s） |
| 專為檢漏儀設計的油式旋轉真空泵(前級真空幫浦)（排氣速度 30L / min 50Hz） | |
| 專為檢漏儀設計的油式旋轉真空泵(粗抽幫浦)（排氣速度 1080 L / min 50Hz） | |
| 皮拉尼真空計：量測兩處真空值 | |
| 測試口 | 最大壓力1000Pa |
| 連接端口：NW25KF | |
| 重量 | 主機：約 260kg |
| 電源要求 | 200VAC±10%, 三相, 50/60Hz, 3.0kVA |
| 輸出/輸入 | RS-232C接口 |
| 印表機序列阜 |
其它說明1
應用領域：
半導體和平板顯示器製造
LED製造
鍍膜設備
製冷設備和空調的元件及零件
低溫壓力容器
閥門氣密性
半導體和平板顯示器製造
LED製造
鍍膜設備
製冷設備和空調的元件及零件
低溫壓力容器
閥門氣密性
